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本发明提供一种微动台及移位装置，该微动台包括：第一运动单元、第二运动单元及承件单元，其中，第一运动单元至少包括第一板及多个一端与第一板接触的压电陶瓷叠组；第二运动单元至少包括第二板、第三板及多个固定于第三板上表面的压电电机，第二运动单元位于第一运动单元下方，第二运动单元用于负载第一运动单元沿Z轴方向、Rx方向和Ry方向进行位置调节；承件单元位于第一运动单元上方且承件单元的下表面与第一板的上表面面接触，第一运动单元用于负载承件单元沿X轴方向、Y轴方向和Rz方向进行位置调节。本发明的微动台及移位装置
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117253842A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311532697.2
(22)申请日2023.11.17
(71)申请人上海隐冠半导体技术有限公司
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