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本发明涉及机械工程密封技术领域，尤其涉及一种真空机械手的微负压系统及真空机械手，包括：手臂部装、迷宫密封装置、微负压腔室、磁流体和微负压管路；手臂部装处于真空腔室内；迷宫密封装置两端分别与手臂部装和磁流体密封连接，迷宫密封装置用于隔绝磁流体与真空腔室；微负压腔室设置在迷宫密封装置周围，微负压腔室用于收集磁流体挥发的磁性液体分子；微负压管路一端与微负压腔室连通，另一端与外部真空泵连接，微负压管路用于将微负压腔室内的磁性液体分子排出以阻止磁性液体分子进入真空腔室内。本发明在磁流体与真空腔室之间设置迷
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117245684A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311513308.1
(22)申请日2023.11.14
(71)申请人芯导精密（北京）设备有限公司
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