原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种装载晶圆的石墨圆盘定位机构，包括石墨圆盘托盘、升降组件、夹爪组件以及旋转组件，其中，夹爪组件用于夹持放置到石墨圆盘托盘的石墨圆盘；升降组件与石墨圆盘托盘的底部连接，响应于夹爪组件夹持石墨圆盘，带动石墨圆盘托盘脱离石墨圆盘；旋转组件与夹爪组件连接，用于带动夹爪组件转动，以使石墨圆盘转动到期望位置。该实施方式能够实现石墨圆盘准确定位的功能。首先通过夹爪组件夹持石墨圆盘，接下来通过升降组件带动石墨圆盘托盘脱离石墨圆盘，最后根据晶圆的平边位置，通过旋转组件带动夹爪组件转动。如此一来，减少
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117253835A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311540025.6
(22)申请日2023.11.20
(71)申请人北京锐洁机器人科技有限公司
地址
文档评论（0）