红外焦平面阵列技术现状和发展趋势.pdfVIP

红红外外焦焦平平⾯⾯阵阵列列技技术术现现状状和和发发展展趋趋势势

⼀、引⾔

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⾃从1800年赫谢尔利⽤⽔银温计制作的最原始的热敏探测器发现了红外辐射以来，⼈们就

开始不断运⽤各种⽅法对红外辐射进⾏检测，并根据红外光的特点⽽加以应⽤，相继制成了各

种红外探测器，如热敏型辐射探测器（温差电偶探测器、电阻测辐射热计、热释电探测器）和

半导体光电探测器（光电导探测器、光伏型探测器等）。最初，⼈们只能以单个探测单元通过

光机扫描的⽅式并协同低温制冷器来实现图像探测；后来，则出现了探测单元数⽬在⼀万以

上，且⾃带有信号读出电路的⼆维N×M元焦平⾯阵列(FPA)探测器；⽽现今，集成了探测器后续

信号处理电路，包括信号读出电路、前放、模数转换器等的第三代被称为“灵巧”（smart）凝视

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的⼤阵列焦平⾯也已开始崭露头⾓。

红外焦平⾯热像仪是⼀种可探测⽬标的红外辐射，并能通过光电转换、电信号处理等⼿段，将

⽬标物体的温分布图像转换成视频图像的设备，