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SMT设备SEMI通讯标准协议
目录
1.SECS/GEM总框架介绍2
2.SECS-II消·息分类及功能4
3.SML语言5
4.HSMS介绍7
3.1.HSMS报文格式8
3.2.HSMS的状态14
3.3.HSMS的通信流程以及超时处理15
5.GEM标准模型介绍18
5.1.GEM通信状态模型19
5.2.GEM定义的生产设备能力23
5.2.1.状态参数收集24
5.2.2.事件报告收集24
5.2.3.报警管理29
5.2.4.远程控制32
6.指令集33
6.1.建立连接33
6.2.获取生产设备的状态参数33
6.3.报警信息33
6.4.在线模式34
6.5.离线模式34
1/34
SMT设备SEMI通讯标准协议
1.SECS/GEM总框架介绍
SEMI通信标准模型SECS/GEM定义了半导体生产设备与主机之间、各生产设备
之间的通信规范。其中SECS-I与HSMS处于模型的最底层，提供了半导体生设备通
信的链路层规范，SECS-I协议是基于R232串行链路，HSMS是基于TCP/IP(261:
SECS-II定义了半导体生产设备与主机之间消息的通信格式、
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