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本发明提供了一种S型反相器链电荷共享测试结构,在重离子试验中,电子器件面临着许多挑战,如单粒子效应。为了解决这些问题,需要一种有效的测试结构。S型反相器链(SLIC)测试结构是一种被广泛使用的测试结构,但是现有的SLIC测试结构不能够分离测量轰击NMOS和轰击PMOS的电荷共享效应,这限制了其在重离子试验中的应用。本发明提供的S型反相器链电荷共享测试结构能够分离测量轰击NMOS和轰击PMOS的电荷共享效应,在重离子试验中具有较高的应用价值。同时,该测试结构具有较高的测量精度和稳定性,可靠性较高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117269636A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202310935457.0
(22)申请日2023.07.27
(71)申请人中国人民解放军国防科技大学
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