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感光性树脂组合物、感光性树脂涂层、感光性干膜、层合体和图案形成方法.pdfVIP

感光性树脂组合物、感光性树脂涂层、感光性干膜、层合体和图案形成方法.pdf

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    本发明为感光性树脂组合物、感光性树脂涂层、感光性干膜、层合体和图案形成方法。将包含(A)包含具有式(a1)的重复单元和具有式(b1)的重复单元的有机硅树脂、(B)填料和(C)光致产酸剂的感光性树脂组合物涂布至基底上，以形成感光性树脂涂层，所述感光性树脂涂层可以被加工成厚膜形式的精细图案，具有改进的膜性质如耐开裂性并且可靠地作为保护膜。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN109388023A

    (43)申请公布日

    2019.02.26

    (21)申请号20181

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