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2023-12-23 发布于四川
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磁悬浮转子及其半导体工艺设备.pdf

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本实用新型提供一种磁悬浮转子，应用于半导体工艺设备。磁悬浮转子包括：转子主体，用于通过与磁悬浮定子相互作用而旋转；环形承载壁，设置于转子主体的顶部，用于承载晶圆。磁悬浮转子包括设置于转子主体顶部的环形承载壁，能够增加磁悬浮转子的风阻受力面积，进而提高风阻压力，避免磁悬浮转子转动时对工艺腔室内的气体造成扰动，使得晶圆和磁悬浮转子之间的热传导稳定进行，从而减小晶圆不同位置处的温度变化速率之间的差值，提高晶圆表面的温度均匀性。本实用新型还提供一种半导体工艺设备。

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220233139U

(45)授权公告日2023.12.22

(21)申请号202320781137.X

(22)申请日2023.04.10

(73)专利权人北京北方华创微电子装备有限公

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