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本公开内容的实施方式一般涉及具有两部分表面涂层的基板支撑件，其在基板处理期间减少缺陷形成和背侧金属污染。支撑主体包括：主体，具有上表面；及两部分涂层，设置在主体的上表面之上。两部分涂层包括：第一涂布层，从主体的中心延伸第一径向距离。第一涂布层包括含金属材料或合金的至少一种。两部分涂层包括：第二涂布层，设置在第一涂布层之上。第二涂布层从主体的中心延伸第二径向距离。第一径向距离大于第二径向距离。第二涂布层是非金属的。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117280455A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202280033301.7(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理
(22)申请日2022.05.
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