原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种基于纳米3D肖特基结的光电探测器及其制备方法，涉及半导体技术领域，所述方法包括：步骤1、在清洁后的基片的表面上淀积金属薄膜；步骤2、对基片进行真空或保护气氛下的退火，使得在基片的表面上淀积的金属薄膜自组装生长为由金属纳米颗粒组成的阵列；步骤3、将基片置于真空或者保护气氛下进行温度不低于900℃且时长不少于40min的保温，诱导金属纳米颗粒刻蚀基片，从而得到金属纳米3D肖特基结；步骤4、对基片使用包括溅射、脉冲激光淀积或蒸镀在内的物理气相淀积方法继续淀积金属，制备得到光电探测器。本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117276400A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202311100450.3
(22)申请日2023.08.29
(71)申请人青岛大学
地址266000
文档评论（0）