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本申请提供了一种用于氮化铝单晶生长的籽晶粘接方法，采用氮化铝高温胶进行粘接，在高温烧结排气过程中，形成“中心区域温度高，外围区域温度低”的径向温度梯度，有利于中心区域的氮化铝高温胶先到反应温度点进行排气，随着温度的再升高，中心区域排气结束，然后外围区域到达反应温度点进行排气，有效解决了中心区域易形成空气夹层导致氮化铝籽晶背向蒸发的问题。进一步地，在氮化铝籽晶背面镀高温难熔金属膜处理，可有效减少氮化铝籽晶背向蒸发的问题；在氮化铝籽晶的高温难熔金属膜与籽晶托之间粘接难熔金属箔作为缓冲层，利于减小氮化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117265649A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202311248824.6
(22)申请日2023.09.26
(71)申请人中材人工晶体研究院有限公司
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