YS∕T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法.pdf

Iα77.040.30

cαH17YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T987-2021

代替YS/T987-2014

氯硅皖中碳含量的测定

气相色谱质谱联用法

Determinationofcarboncontentinchlorosilane一

Gaschromatography”massspectrometry

2021-12-02发布2022-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T987-2021

前

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草．

本文件代替YS/T987-2014《氯硅烧中碳杂质的测定方法甲基二氯氢硅的测定》，与YS/T987-

2014相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

a)更改了本文件的范围（见第1章，2014年版的第1t;t);

b)增加了规范性引用文件GB/T6678、GB/T6680、GB/T8170，删除了GB/T4844.3（见第2章，

2014年版的第2章〉；

c)增加了术语和定义（见第3章〉；

d)更改了方法原理〈见第4章，2014年版的第3章h

e)增加l干扰因素〈见第5章〉；

。增加了甲基三氯硅挠、二甲基一氯硅烧、二甲基二氯硅烧、王申基一氯硅烧试剂，更改了氮气的

要求〈见第6章，2014年版的第4章〉；

g)删除了三氯氢硅、四氯化硅试剂〈见2014年版的第4章）；

h）更改了气相色谱程序升温的要求（见7.1,2014年版的5.1);

i)增加了极性毛细管色谱柱的要求（见7.3);

j)更改了微量进样器、注射器、色谱进样瓶的要求〈见第7章，2014年版的第5章k

k）删除了微量注射辑（见2014年版的5.7);

l)删除了测试环境（见2014年版的第6章〉；

m）更改了柱温程序中的初始温度，增加了载气流速的要求〈见7.2,2014年版的7.1.4、10.1.的；

n)增加了样品及来样的要求（见第8章〉；

。〉更改了K值的定义及测定，增加了〈见9.1、附录A,2014年版的7.2、10.2);

p

）更改了测定样品中正辛烧的体积（见9.2.1,2014年版的7.3.1、10.3.2);

q)更改了试验数据处理的计算公式（见第10章，2014年版的第8章、第11章h

r)更改了精宿度的要求〈见第11章，2014年版的第9章、第12章〉；

s)删除了质量保证和控制〈见2014年版的第13章〉；

t)增加了K值的允许差、各物质的特征离子（见附录A).

请注意本文件的某些内容可能涉及专利．本文件的发布机构不承担识别专利的责任．

本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员

会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口．

本文件起草单位：亚洲硅业（青海〉股份有限公司、青海省亚硅硅材料工程技术有限公司、青海芯测科

技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司．

本文件主要起草人：魏东亮、回润朝、蔡延国、曹岩德、陈英、安