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- 2023-12-27 发布于四川
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本发明公开了一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置，包括进料台，进料台的一侧固定连接有送料机构，送料机构包括斜侧挡板，斜侧挡板的一侧固定连接有斜置板，斜侧挡板的一侧通过转动栓转动连接有滚珠，滚珠远离斜侧挡板的一侧通过转动栓转动连接有斜长板，斜长板靠近滚珠的一侧底部通过转动栓转动连接有小毛刷，斜长板的顶部滑动连接有刻蚀芯片，本发明涉及干法刻蚀机技术领域，该一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置，通过刻蚀芯片滑动时两个斜长板之间的底刷板与刻蚀芯片底部接触清扫，防止刻蚀芯片底部灰尘聚多影响滑动，通过落下时产生撞击
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117293072A
(43)申请公布日2023.12.26
(21)申请号202311095550.1
(22)申请日2023.08.29
(71)申请人大连榕树光学有限
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