原创力文档化合物半导体的外延生长设备项目计划设计方案
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化合物半导体的外延生长设备项目计划设计方案
目录
TOC\h\z16378序言 3
18432一、化合物半导体的外延生长设备项目文档管理 3
27017(一)、文档编制与审查 3
6413(二)、文档发布与分发 4
19288(三)、文档存档与归档 5
14946二、产品规划分析 7
16951(一)、产品规划 7
14289(二)、建设规模 8
19430三、化合物半导体的外延生长设备项目土建工程 9
7274(一)、建筑工程设计原则 9
579(二)、土建工程设
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