半导体制造中的化学品.pptVIP

关于半导体制造中的化学品第1页，讲稿共26页，2023年5月2日，星期三3.1物质形态三种基本形态：固态、液态和气态固体有其自己固定的形状，不会随容器的形状而改变。液体会填充容器的相当于液体体积大小的区域，并会形成表面。气体会填充整个容器，不会形成表面。第2页，讲稿共26页，2023年5月2日，星期三活性气体如氢气和氧气，容易与其他气体或元素反应形成稳定的化合物。惰性气体如氦气和氩气，很难形成化合物，不与其他化学材料反应，广泛应用于半导体制造业。等离子体：第四种形态，当有高能电离的原子或分子的聚集体存在时就会出现等离子体。将一定的气体暴露在高能电场中就能诱发等离子体。第3页，讲稿共26页，2023年5月2日，星期三3.2材料的属性通过研究材料的属性，了解如何在半导体制造业中使用它们。有两类：化学属性和物理属性物理属性：指那些通过物质本身而不需要与其他物质相互作用而反映出来的性质。有熔点、沸点、电阻率和密度等化学属性：指通过与其他物质相互作用或相互转变而反映出来的性质。有可燃性、反应性和腐蚀性。第4页，讲稿共26页，2023年5月2日，星期三3.3半导体制造中的化学属性先进的IC制造商通常会使用新型材料来改善芯片的性能并减小器件的特征尺寸。化学品的一些属性对于理解新的半导体工艺材料的存在有很重要的意义。属性有：温度