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先进制造技术习题答案

超精密加⼯部分作业题

1.超精密加⼯⽅法主要有哪⼏种？各适合于什么材料的超精密加⼯？

答：

1.加⼯⽅法有：

1)机械能量法（切削加⼯、磨削加⼯、切（割）断加⼯、磨粒加⼯等）。

2)热能量法（电极加⼯、激光加⼯、电⼦束加⼯、离⼦束加⼯等）。

3)电⽓、化学能量法（电解加⼯、电解研磨、化学研磨、蚀刻等）。2.适于材料:

1)超精密切削：主要⽤于加⼯铝合⾦、铜合⾦、Ti合⾦、⾮电解镍等;

2)超精密磨削：主要加⼯⿊⾊⾦属和脆性材料。如：合⾦钢、钛合⾦、

玻璃、陶瓷、单晶硅等;

3)超精密研磨和抛光：主要⽤于加⼯⾼表⾯质量和⾼平⾯度的集成电路

芯⽚和光学平⾯及蓝宝⽯窗⼝等.

2.超精密切削中，影响加⼯精度的主要因素有哪些？

答：

1.给定的精度指标。

2.加⼯机械的直线运动和回转运动精度。

3.加⼯机械的定位精度；

4.加⼯机械、⼯具及⼯件的刚度；

5.加⼯机械、⼯具、⼯件的振动；

6.加⼯机械、⼯具、⼯件的热变形；

7.⼯具的尺⼨及形状精度；

8.加⼯机械、⼯具、⼯件的磨损和磨伤；

9.⼯具、⼯件的定位安装精度；

10.⼯件在前道⼯序加⼯中的尺⼨、形状的误差及其误差分散的程度；

11.⼯件材质及其物理、机械性能；

12.⼯件的形状和尺⼨；

13.⼯件材料的不均匀性；

14.加⼯单位的⼤⼩(去除、结合、变