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2023-12-28 发布于四川
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本实用新型公开了一种薄膜基片蒸镀机，包括壳体，壳体一侧开设蒸镀腔，蒸镀腔顶面开设滑槽一，滑槽一内部滑动连接滑块一，滑块一底面固定连接蒸发源，蒸镀腔内部插接放置板，放置板顶面固定连接四个长杆，四个长杆之间固定连接多个短杆，多个短杆滑动连接四个滑动杆，壳体顶部开设方形腔一，方形腔一内部顶面固定连接电机，电机转轴处固定连接转动轴一，转动轴一底部周侧固定套接齿轮一，齿轮一啮合连接两个齿轮二。本实用新型通过各个部件的配合，放置板上可以放置多个薄膜基片，可以同时生产加工多个薄膜基片，生产效率高，有利于工作生

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220246237U

(45)授权公告日2023.12.26

(21)申请号202321710147.0

(22)申请日2023.07.01

(73)专利权人杭州福源盛光电科技有限公司

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