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2023-12-28 发布于四川
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一种RTD派工系统及其可视化分析系统.pdf

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本发明的公开了一种RTD派工系统及其可视化分析系统，以解决在晶圆生产的自动化派工领域中存在的无法根据生产计划自动生成相应的生产批次、实时监控生产进度时，通常使用一套固定的评价标准，评价标准不具有适应性等问题。本发明具有如下特征：通过生产任务下达模块与自动派工模块的协同交互，系统可以自动根据工作人员下达的任务，找到最优分配批次以及最优加工工序，节约晶圆加工时间以及人工计算成本；通过设置可视化分析系统超时判别规则，在发生可能滞后的情况时，可视化监测系统迅速计算出预计滞后时间，通过可视化大屏展示给工作

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117291378A

(43)申请公布日2023.12.26

(21)申请号202311264062.9

(22)申请日2023.09.26

(71)申请人江苏道达智能科技有限公司

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