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用于边缘非均匀性调谐的低阻抗电流路径.pdfVIP

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  • 2023-12-30 发布于四川
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用于边缘非均匀性调谐的低阻抗电流路径.pdf

    示例性基板支撑组件可以包括限定基板支撑表面的静电吸盘主体。基板支撑表面可以限定多个从基板支撑表面向上延伸的突起。基板支撑表面的外部区域内的多个突起的密度可以大于基板支撑表面的内部区域中的多个突起的密度。基板支撑组件可以包括与静电吸盘主体耦合的支撑柱。基板支撑组件可以包括嵌入在静电吸盘主体内的电极。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117321754A

    (43)申请公布日2023.12.29

    (21)申请号202280035373.5D·帕德希

    (22)申请日2022.05.13

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