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本发明涉及电容器制造技术领域，具体的说是有机介质叠层电容器制造用真空蒸发装置及其工作方法，包括真空仓，所述真空仓内具有一可转动的主辊，所述真空仓内沿主辊转动方向依次设置有：蒸发系统，包括蒸发舟，所述蒸发舟上开设有朝向主辊的浅液槽；喷涂系统，包括输出端朝向主辊设置的喷雾器、安装于喷雾器输出端的蒸发器以及安装于喷雾器输入端上的液体泵；电子枪，受驱动发出电子束。本发明蒸发系统以及喷涂系统是沿主辊旋转方向来设置的，使主辊在旋转时可在铝箔基片表面形成一层电极、一层介质的交替叠加的状态，可快速形成叠层的电容
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117305771A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311209880.9H01G4/30(2006.01)
(22)申请日2023.09.1
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