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本发明实施例提供一种三氯氢硅的合成方法及设备，所述方法包括：将第一粒径范围的硅粉加入至流化床反应器的第一进料口，将第二粒径范围的硅粉加入至流化床反应器的第二进料口，第一粒径范围中的粒径大于第二粒径范围中的粒径，第一进料口至流化床反应器底部的距离大于第二进料口至流化床反应器底部的距离；将反应气自流化床反应器底部通入流化床反应器与硅粉进行反应，生成三氯氢硅。将不同粒径范围的硅粉加入至流化床反应器对应粒径范围的进料口，使得自第一进料口加入的第一粒径范围的硅粉可以对自第二进料口加入的第二粒径范围的硅粉进
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117303374A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311298206.2
(22)申请日2023.10.07
(71)申请人新特能源股份有限公司
地址83
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