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本发明公开了一种涂胶显影机，包括晶圆盒站、第一功能模块、第二功能模块、工艺站与接口站，其中：所述工艺站相对设置设有两个，工艺站内均设有工艺机械臂、热板单元、冷板单元及工艺单元；两工艺站分别为涂胶工艺站、显影工艺站；涂胶工艺站能独立完成涂胶工艺，显影工艺站能独立完成显影工艺；所述第一功能模块与第二功能模块分别设置在工艺站两侧，第一功能模块另一侧连接有晶圆盒站，第二功能模块另一侧连接有接口站。本发明设计新颖，结构紧凑，有效的减少了涂胶显影机中机械臂的转运行程，很大程度的提高了机械臂对晶圆的转运效率，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117311095A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311263364.4
(22)申请日2023.09.27
(71)申请人合肥开悦半导体科技有限公司
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