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硅片入篮传送机构及硅片入篮系统.pdfVIP

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  • 2023-12-30 发布于四川
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硅片入篮传送机构及硅片入篮系统.pdf

    本公开涉及一种硅片入篮传送机构及硅片入篮系统，传送机构包括：传送带，用于承载并传送硅片；带轮，沿输送方向间隔设置，用于缠绕传送带并驱动传送带沿输送方向运动；以及支撑架，形成有用于容纳传送带的带槽，支撑架用于支撑传送带，其中，支撑架配置为在输送方向上与硅片的接触面积小于硅片的表面积。本公开实施例中的传送机构在输送硅片时，既设置有支撑架来支撑传送带和硅片，以防止传送带和硅片下弯导致的硅片入篮不平整，又使得支撑架不会与硅片的全部区域接触，使得硅片上的水可以在其不与支撑架接触的区域流走，从而避免水过多聚

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220272442U

    (45)授权公告日2023.12.29

    (21)申请号202321442665.9

    (22)申请日2023.06.07

    (73)专利权人隆基绿能科技股份有限公司

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