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本实用新型提供一种辅助拆装装置，包括：底座、承载部件以及第一调节部件；第一调节部件的第一端与底座的上表面固定连接，第二端与承载部件连接，调整承载部件与底座之间的距离；承载部件的上表面设置为用于承载物品的承载区。本实用新型的辅助拆装装置通过设置底面支撑并可进行高度调整的辅助拆装装置，解决了外延生长设备的下Dome拆卸时易碎，旋转模块、加热模块等部件拆卸体积较大、重量较重不易拆卸以及操作人员容易出现受伤等问题。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220265939U
(45)授权公告日2023.12.29
(21)申请号202322067118.3
(22)申请日2023.08.02
(73)专利权人芯恩（青岛）集成电路有限公司
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