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本发明提供一种涡旋光干涉系统的微小夹角测量方法及薄膜厚度测量方法，相比于传统的共轭涡旋光干涉技术通常需要依靠复杂的光学装置和复杂的数据处理算法来测量光束之间的夹角；本发明通过构建涡旋光共轭干涉仿真光路，并且采用机器学习，可以使用更简单的装置和更高效的算法来实现准确的夹角测量；其次，机器学习算法能够自动学习并优化模型，从而提高夹角测量的准确性和稳定性；通过对大量的训练数据进行学习，机器学习模型可以识别并纠正传统方法中可能存在的误差和偏差，从而提供更精确的测量结果；这将大大简化实验设置和数据处理过程
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117308826A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311185452.7G06N20/20(2019.01)
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