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本发明提供了一种利用声波或电磁波检测固晶状态的方法，包括：晶粒的局部区块脱离固晶装置并接触基板以形成贴合波；贴合波从晶粒的局部区块往晶粒的其他区块的方向扩散并具有扩散趋势，使得晶粒逐渐脱离固晶装置并固定于基板上；声波或电磁波沿着晶粒的表面传播；感测不同位置的声波的音量、振幅或频率变化程度，或，感测不同位置的电磁波的振幅或频率变化程度，并获得感测信息；根据感测信息判定晶粒与固晶装置分离的距离变化程度；根据晶粒与固晶装置分离的距离变化程度判定贴合波的扩散趋势；以及根据贴合波的扩散趋势判定晶粒是否与基
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117316788A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202210705992.2
(22)申请日2022.06.21
(71)申请人梭特科技股份有限公司
地址中国
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