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MEMS微波信号相位检测系统的研究的开题报告

研究方向：MEMS微波信号相位检测系统

一、研究背景及意义

微电子机械系统（MEMS）是一种基于微纳技术的多学科交叉应用技术，它将微机电技术、微电子技术和传感器技术有机结合在一起，不仅可以实现微小化、集成化，而且可以实现多功能化。微波信号相位检测系统是一种关键技术，广泛应用于无线通信、雷达、卫星通信等领域。当前，MEMS技术已经可以制备出微波组件，如滤波器、开关等，并结合集成电路技术实现微波电路的压缩和集成化，使微波电路的尺寸越来越小，功能越来越强。

二、研究内容

1.研究MEMS微波信号相位检测的基本原理和应用场景。

2.分析微波信号相位检测系统的工作原理和关键技术。

3.设计并制备MEMS微波相位检测器的关键元器件。

4.研究相位检测的信号提取方法，并进行仿真验证。

5.搭建实验平台，并进行实验验证。

三、预期成果

1.设计并制备出MEMS微波相位检测器的关键元器件。

2.分析相位检测的信号提取方法，完成仿真验证。

3.搭建实验平台，进行实验验证。

4.发表相关论文或成果。

四、研究方法

1.文献资料研究，了解MEMS微波信号相位检测的基本原理和应用场景。

2.理论分析和建立数学模型，分析微波信号相位检测系统的工作原理和关键技术。

3.MEMS器件的设计，通过MEMS技术制备出相关元器件。

4.建立相位检测的信号提取方法，并进行仿真验证。

5.搭建实验平台，进行实验验证。

五、进度安排

第一年：文献资料查阅，分析相位检测系统的工作原理，完成数学模型的建立。

第二年：进行MEMS器件的设计和制备，建立相位检测的信号提取方法，并进行仿真验证。

第三年：搭建实验平台，进行实验验证，并进行数据分析和处理。

第四年：撰写论文并准备答辩。

六、参考文献

1.GuoY,WuY,HuangQ.DesignandSimulationofMEMS-BasedMicrowavePhaseShifter[C]//2019IEEE5thInternationalConferenceonComputerandCommunications(ICCC).IEEE,2019.

2.TangY,TongY,LiC,etal.MicroelectromechanicalSystems-BasedMicrowavePhaseShifter[C]//2020IEEEInternationalConferenceonAppliedSuperconductivityandElectromagneticDevices(ASEMD).IEEE,2020:298-301.

3.ZhouJ,ZhangH,LiJ,etal.High-PrecisionMicroelectromechanicalSystem-BasedMicrowavePhaseShifter[C]//2019IEEESensors.IEEE,2019:1-4.