多晶硅还原炉调功器调功方案及应用经验探讨.docx

多晶硅复原炉调功器调功方案及应用阅历探讨

韩健伟1，陈真生2，黄开均2,陈杰2

〔1：焦作煤业〔集团〕有限责任公司，焦作，454002；

2：浙江中控技术股份，杭州，310053〕

摘要：多晶硅是太阳能光伏产业和电子工业的根底原料，其进展前景光明。复原炉调功器是多晶硅生产的核心装置，对复原炉生产多晶硅的产品质量和单位能耗影响较大。本文阐述了多晶硅的生长原理和电气特性、调功器调功方案以及调功器在大型多晶硅生产装置中的应用阅历。

关键字：复原炉调功器，调功方案，硅芯击穿，恒温加热

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