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本发明提出了一种实现对半导体炉管工艺的晶圆组预分组的方法及系统，该方法通过建立智能算法模型，综合考虑晶圆组的到站时间点、失效时间点、优先级等因素，以及机台的配方、加工结束时间点、等待时间、制程时间、最大批处理量、最小批处理量等因素，以及填充用晶圆模型片的使用情况，将晶圆组绑定成为加工组，并将加工组分派到炉管机台上进行加工，以实现单位时间内加工数量最多，且填充用晶圆模型片数量最少的综合效果，从而提高炉管工艺的效率和质量，降低炉管工艺的成本和资源消耗。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117334613A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311633566.3G06Q50/04(2012.01)
(22)申请日2023.12.
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