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本发明公开了集成化多点激光测速探头调节系统及方法,包括集成化多点激光测速探头调节电路和多路PDV探头;集成化多点激光测速探头调节电路,用于控制产生绿光激光与红外光纤激光,基于绿光激光与红外光纤激光共光路分时复用,同时将光路均分为多路出光光束;及接收各PDV探头的待测样品端面测点返回光,并实时监测测点返回光的功率大小及判断PDV探头定位准确度;其中,每路出光光束与对应的待测样品端面测点返回光在一条光轴上;PDV探头,用于相应输出均分后的每路出光光束,将出光光束照射于待测样品表面上并返回至集成化多点
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117331053A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311342027.4
(22)申请日2023.10.17
(71)申请人中国工程物理研究院流体物理研究
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