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icp放电所产生的等离子体的温度.docx

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    icp放电所产生的等离子体的温度

    ICP放电所产生的等离子体温度通常在几千至几万摄氏度之间。具体的温度取决于ICP放电系统的功率、气体组成、气体流速以及等离子体与环境的热传递等因素。一般来说，高功率、高气体流速和纯度较高的气体组成会导致更高的等离子体温度。此外，等离子体与外界环境的热交换也会对等离子体温度产生影响。

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