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公开了一种晶圆显影装置，包括：喷头，用于喷洒显影液；旋转组件，与所述喷头连接，用于控制所述喷头以第一方向旋转喷洒显影液；承载组件，用于承载晶圆；调节组件，用于调整喷头位置，使喷头的中心与所述晶圆的中心重合。本发明还提供一种晶圆显影方法，将喷头调整至其中心与晶圆中心重合，以第一方向旋转喷洒显影液，减少喷头拉力的影响，避免显影液的回流，提高显影工艺的稳定性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110687758A
(43)申请公布日
2020.01.14
(21)申请号20191
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