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本发明涉及一种管式ALD镀膜方法及其系统，属于TOPCon电池及管式ALD镀膜技术领域。包括对装载有N型硅片的炉管进行抽真空处理和预热处理；在第一恒压下，将第一前驱体通入所述炉管中；在第二恒压下，将第二前驱体通入所述炉管中，得到一层原子层薄膜。进行ALD镀膜过程中，在第一恒压的条件下通入第一前驱体进行反应、以及在第二恒压的条件下通入第二前驱体进行反应，以保证第一前驱体和第二前驱体能够在N型硅片上均匀吸附，从而确保N型硅片上镀膜的均匀性，保证了电池片的钝化性能，提高光伏电池的工作效率和合格率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117328039A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311298990.7
(22)申请日2023.10.09
(71)申请人晋能光伏技术有限
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