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2024-01-03 发布于四川
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成膜装置及成膜方法.pdf

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本发明提供一种能够兼顾膜厚分布的均匀化和材料收获率的提高的成膜装置。蒸发源容器进行从在与成膜对象物的旋转轴正交的方向上离开旋转轴的分离位置向接近旋转轴的接近位置移动、并再次返回分离位置的往复移动，石英振荡器以维持与进行往复移动的蒸发源容器的相向状态的方式在腔室内移动，所述蒸发源容器在腔室内收纳成膜材料，配置于成膜对象物的下方，具有向上方开口的喷射口，所述石英振荡器设置于成膜监视器，所述成膜监视器获取从蒸发源容器蒸发的成膜材料相对于成膜对象物的成膜速率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111748772A

(43)申请公布日2020.10.09

(21)申请号201911315409.1

(22)申请日2019.12.19

(30)优先权数据

2019-0660

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