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本实用新型公开了一种负压吸附式机械手，包括安装板，还包括用于对晶圆进行吸附固定的第一吸附机构，所述第一吸附机构固定在所述安装板下方。本实用新型通过设置第一吸附机构，使用装置时，将装置安装在工作台上，工作台带动装置移动到晶圆上方，工作台驱动密封垫下降，密封垫下降与晶圆接触，工作台继续下降，密封垫被压缩，密封垫与晶圆之间的间隙逐渐缩小，密封垫压缩到一定程度时，启动电动推杆，电动推杆收缩带动第一活塞板上升，吸附座内的气压逐渐减小，晶圆在负压的作用下被固定在密封垫上，如此实现晶圆的吸附固定，密封垫能够提
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220306233U
(45)授权公告日2024.01.05
(21)申请号202321469612.6
(22)申请日2023.06.09
(73)专利权人郑州轨道交通信息技术研究院
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