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2023年ITO靶材项目规划设计纲要.docx

2023年ITO靶材项目规划设计纲要.docx

    ITO靶材项目规划设计纲要

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    ITO靶材项目规划设计纲要

    目录

    TOC\h\z23629概论 3

    30187一、ITO靶材项目概论 3

    3634(一)、ITO靶材项目概况 3

    15017(二)、ITO靶材项目目标 5

    10066(三)、ITO靶材项目提出的理由 6

    21857(四)、ITO靶材项目意义 8

    20615(五)、ITO靶材项目背景 9

    27339二、ITO靶材项目选址可行性分析 9

    26059(一)、ITO靶材项目选址 9

    4244(二)、用地控制指标 10

    4425(三)、节约用地措施 11

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