2023年多晶硅磁控溅射靶材项目计划设计方案.docx

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多晶硅磁控溅射靶材项目计划设计方案

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多晶硅磁控溅射靶材项目计划设计方案

目录

TOC\h\z20624前言 3

31520一、多晶硅磁控溅射靶材项目绩效评估 3

7258(一)、绩效评估指标 3

27551(二)、绩效评估方法 4

25573(三)、绩效评估周期 5

3070二、多晶硅磁控溅射靶材项目土建工程 6

22372(一)、建筑工程设计原则 6

1747(二)、土建工程设计年限及安全等级 8

28048(三)、建筑工程设计总体要求 9

7273(四)、土建工程建设指标 9

24608三、多晶硅磁控溅射

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