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一种应用于蚀刻机的射频电源控制方法及系统.pdfVIP

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  • 2024-01-06 发布于四川
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一种应用于蚀刻机的射频电源控制方法及系统.pdf

    本发明提供了一种应用于蚀刻机的射频电源控制方法及系统，其中，方法包括：获取蚀刻信息，确定待蚀刻对象的蚀刻类型，并根据所述蚀刻类型，确定蚀刻需求；根据所述蚀刻需求，建立基于射频电源的模拟蚀刻模型；根据所述模拟蚀刻模型，确定射频电源的控制方案，并根据所述控制方案，对射频电源进行控制，进行蚀刻；系统包括：需求确定模块、模型生成模块、方案输出模块。本发明将射频电源控制方法应用于蚀刻机有利于提高蚀刻效率和正确率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN114114966A

    (43)申请公布日2022.03.01

    (21)申请号202111337176.2

    (22)申请日2021.11.12

    (71)申请人华科电子股份有限公司

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