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本发明公开了一种可扩展的瞬态波前测量系统及扩展方法,主要解决现有技术中存在的无法使用一种设备实现球面瞬态波前和平面瞬态波前测量的问题。包括球面瞬态波前测量模块和扩束物镜模块;球面瞬态波前测量模块包括:光源、沿光源的出射光路依次设置的光束整形器、扩束器和第一分光镜、设置在第一分光镜透射光路上的标准物镜,以及第二分光镜、设置在第二分光镜反射光路上的两个成像物镜和测量探测器、设置在第二分光镜透射光路上的第一折光反射镜、会聚镜和准直相机;扩束物镜模块设置在标准物镜的出射光路上;扩束物镜模块第二光栏和扩束
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117346904A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202210752266.6
(22)申请日2022.06.28
(71)申请人中国科学院西安光学精密机械研究
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