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本发明提供了一种高精度尺寸石英砣制造装置，该高精度尺寸石英砣制造装置包括熔炉、旋转升降机构和红外监测装置，其中，熔炉内部中空，顶部设置有能够向下喷射物料的燃烧器；旋转升降机构位于熔炉的中空腔体内，其上设置有用于承载待加工石英砣的底砣，底砣由旋转升降机构带动旋转机升降；红外监测装置设置于底砣的下方，用于检测位于其上方的待加工石英砣的直径。该技术方案，通过红外监测装置自下而上的监测待加工石英砣的尺寸，以对石英砣的初始沉积直径进行更为有效地监测，避免因初始直径的误差影响石英砣后续制作的尺寸精度，制备的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117342783A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311389518.4
(22)申请日2023.10.24
(71)申请人连云港太平洋半导体材料有限公司
地
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