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一种区熔单晶炉上料装置.pdfVIP

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  • 2024-01-06 发布于四川
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一种区熔单晶炉上料装置.pdf

    本发明提供了一种区熔单晶炉上料装置，包括定板；定板上设有小锥齿轮，小锥齿轮与大锥齿轮相啮合，小锥齿轮与竖直设置的丝杠同轴转动连接；丝杠上螺纹连接螺母滑块，丝杠旁设有导轨，螺母滑块与导轨滑动连接；螺母滑块上固定支架，支架上设有动板和两个翻板，每个翻板的外端通过翻板心轴连接在动板上，动板和翻板顶端均设有弹簧固定柱，同一侧的动板和翻板上的弹簧固定柱之间设有弹簧；两个翻板的开口处设有插销。本发明所述的一种区熔单晶炉上料装置，配合使用机械机构代替人工进行多晶硅棒原料的上料工作，不仅减少上料工作对操作工人身

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110453275A

    (43)申请公布日

    2019.11.15

    (21)申请号20191

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