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本发明公开了一种用于超镜面抛光的抛光装置，包括：样品固定部，被构造成夹持样品并驱动样品绕自身轴线转动；基座，被构造成能够分别沿横向方向、纵向方向、高度方向移动；抛光部，沿高度方向延伸，在样品的下方安装在基座上，被构造成能够绕自身轴线转动，并随基座沿横向方向、纵向方向、高度方向往复直线移动，以调整抛光部与样品之间的相对位置；以及抛光液输送部，一端安装在抛光部上，被构造成向抛光部单独定量输送多种抛光液中的一种或向抛光部输送由多种抛光液按照预定比例混合的混合抛光液；其中，根据抛光液输送部向抛光部输送的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117340768A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311577831.0
(22)申请日2023.11.20
(71)申请人合肥国家实验室
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