光源装置.pdfVIP

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一种光源装置,进一步提高了通过波长光束组合而组合的激光束的输出和功率密度。具有:多个外部谐振器型激光模组(24),其分别射出峰值波长不同的多个激光束,并且至少包含第一激光模组(24a)和第二激光模组(24b);光束组合器(26),其将多个激光束(B)同轴地重叠而生成波长组合光束。激光模组分别具有利特罗型配置的准直激光光源和选择特定波长的光的衍射光栅,以使多个激光束以不同的角度射入光束组合器的同一区域的方式排列。从第一激光模组到光束组合器的第一距离(La)与从第二激光模组到光束组合器的第二距离(L

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN112072464A

(43)申请公布日2020.12.11

(21)申请号202010521727.X

(22)申请日2020.06.10

(30)优先权数据

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