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本发明涉及一种背照式图像传感器及其制备方法，该方法包括以下步骤：提供一半导体衬底，在所述半导体衬底内具有多个间隔设置像素器件，接着在所述半导体衬底的所述第一表面上形成重布线层，接着从所述半导体衬底的第二表面进行减薄处理并形成减反射薄膜，接着形成栅格结构，接着依次形成第一金属网格、第一滤光层、第二金属网格、第二滤光层、第三金属网格以及第三滤光层，接着在所述第三滤光层上形成透镜结构。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111697018A
(43)申请公布日
2020.09.22
(21)申请号20201
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