一种具有间接敏感结构的石墨烯谐振式加速度传感器设计方法.pdfVIP

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2024-01-06 发布于四川
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一种具有间接敏感结构的石墨烯谐振式加速度传感器设计方法.pdf

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本发明提出了一种具有间接敏感结构的石墨烯谐振式加速度传感器设计方法。将具有微型尺寸和高性能的石墨烯材料引入传感器的结构设计和制备过程中，对谐振式加速度传感器的进一步发展具有重要意义，而目前由于石墨烯薄膜的加工和转移难度高，将其作为加速度直接敏感元件的研究受限。针对此问题，本发明提出一种间接敏感结构，将加速度转换为压力变化，并使用将石墨烯薄膜作为敏感元件的谐振探头对此压力进行敏感，通过石墨烯谐振频率的变化间接感知加速度的大小。此方法避免了在石墨烯薄膜上直接附加质量，从而提高了传感器的工作稳定性降低

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117347660A

(43)申请公布日2024.01.05

(21)申请号202311313510.X

(22)申请日2023.10.11

(71)申请人北京联合大学

地址100101

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