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2024-01-06 发布于四川
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一种抗高过载加速度计异构集成结构.pdf

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本发明涉及一种抗高过载加速度计异构集成结构，属于MEMS传感器结构技术领域。它包括管壳，所述管壳内壁分别固定连接有加速度计裸芯片和带有外部处理电路的PCB板，PCB板与加速度计裸芯片通过键合丝电性连接；所述管壳内设有包覆加速度计裸芯片所在区域的第一灌封体和包覆PCB板所在区域的第二灌封体，其中第一灌封体为硬质灌封体。本发明可以提高结构的整体强度，满足测试的高过载需求，有效将冲击力传递给加速度计裸芯片上，减少外部冲击力的传递损失，采用在不影响测试精度的同时提高传感器整体抗过载能力，总的来说本装置在

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117347658A

(43)申请公布日2024.01.05

(21)申请号202311329910.X

(22)申请日2023.10.16

(71)申请人安徽北方微电子研究院集团有限公

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