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2024-01-06 发布于四川
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一种伯努利石英吸盘检测装置.pdf

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本发明公开了一种伯努利石英吸盘检测装置，包括检测台，检测台顶部设有竖板、水箱和气泵，竖板侧面开设有凹槽，凹槽内设有电推杆，电推杆的伸长端设有滑块，两个滑动之间连接有安装框，安装框底部设有承载盒，承载盒的表面贯穿开设有多个通孔，承载盒内放置有工件盘，竖板顶部设有支架板，两个支架板之设有顶板，支架板内侧设有调节机构，顶板底部通过夹持机构夹持有吸盘，气泵连接有导气管，导气管另一端连接有软管，软管另一端与伯努利接头连接；本装置夹持机构模拟工作中的机械手，可以快速的将吸盘夹持固定住，并开始检测吸盘性能，同

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117347029A

(43)申请公布日2024.01.05

(21)申请号202311331858.1

(22)申请日2023.10.16

(71)申请人合肥赛默科思半导体材料有限公司

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