微泵的ANSYS仿真分析和总结.docxVIP

微 泵 的 ANSYS 仿 真

分析，电磁场分析，声学分析，压电分析，耦合场分析，体l-f流休动力学分析，ANSYSIFLOTRAN基千质社守恒..动社守恒机能虽守恒，可求解流场速愿压力、温度分布等II

ANSYS在MEMS中有广泛的应用..ColibiiProDevelop111entAB公司用ANSYS开发MEMS陀嫘，用千面级汽车的悬挂控制、传感器、导航系统IIADI公司使用ANSYS软件作为主要设计工具，完成了MEMS加速度计的设计II在

Luca$.NovaSen$or公司，AN SYS更是得以,l－泛应用，已研究和开发出压力传感

卧MEMS阀门..咄墨打印机的可靡先进做流体系统中的喷嘴以及微加速度计和惯性传感器因］II

3.2流固耦合分析

ANSYS的耦合场分析可分为两类，直接耦合和间接耦合，直接耦合使用带有多个场门由度的耦合单兀，由千通过单元矩阵线载荷向社把耦合构造到控制方程中，因此可一次求鲜多场门由度II间接耦合则使用并物理孙垃”的方法，每种社物理孙垃“屈千不同的物理场，通过将一个“物理孙垃“分析的结果作为另一个社物理环垃＂的载荷实现耦合，何接耦合方式为用户提供了更门由的耦合方式，从而实现任点两场或多场的耦合分析II

由千微泵榄型中有斥电驱动部分机流体部分，要对它们做鉴体的分析

ANSYS中栠成有压电耦合和流固耦合软件包，可以对两个耦合场同时进行分析II流固耦合力学的重要特征是两介质间的交互作用，即固体在流体的载荷下会产生变形可运动，而变形或运动反过来又彩呐流场的运动，从而改变流休载荷分布和大小II一般流固耦合方程的特点是方程的定义域通常无法单独求销II

ANSYS 有一个专门用千求解流固耦合问题的流固耦合分析 (fluid-:t;olidinteractiona阻ly$1$,FSI) 求留器摸块II FSI求留器是一个门动工具，特别设计出以用千FSI问题II 它的流体单兀用ANSYSFLOTRAN单兀，ANSYS结构，热，耦合单兀用-f固体单兀II 典型的FSI应用包括：涉及热，结构，电场等与流休场的耦合的问题；涉及包含运动固休的流体问题：由固休变形引起的流休问题II

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附3-1 FSI分析流程附

Fig3-1 FSI汜扯究isprncess

FSI求解器求解流体和固体域相互独立的方程。它通过流固界而传递流休机力，热流，困体的位移，理度，温度日算法一直在流体和固体之间循坏迭代，直到收敛-f时间步或设性的最大迭代步，其分析流程如图3-1所示口

在多数应用中，流｛·水利固·1水网格在流固而上是不同的，因为流·体和固体网格有

不间的分解要求口FSI求解器支持跨越不同网格的负载传递口

3.3建立模型

图3？- 是要建立的单口傲泵和双口微泵的二维结构简图口 两图中扩散口I咄

嘴的尺寸都是一杆大小口这个尺寸是前人经过实验所证实的最佳尺寸，而当两个微泵加载问祥的驱动力使泵腔的体积变化相同时，由千双口微泵的管道多，泵腔对管口产生的压强必然不同，随之产生的流速机流动阻力也就不司口本文想要得到二者在施加相间驱动力，涫耗间祥的功耗的悄况下流且大小的差别，

双口微泵的流虽是否能够比原来的单口微泵的流丑更大口

本文所做的微泵为平而结构，扩散口租喷嘴是在泵的两侧，如图3-3所示口扩散口和咄嘴截而都是梯形的，这对模拟计算很不方使口木文采用了圆形管道的榄型，由千截而上的流烦并不丫均，所以圆形的截而使千计算流社口所以木文建立的榄型如图3-4所示，这个形状比较容易划分网格，得出收敛的结果口图3-5中给出了微泵的设计尺寸a

厂.－－一一－振动膜片 报动膜片

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图 3-2