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2023年金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目计划设计方案.docx

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    金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目计划设计方案

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    金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目计划设计方案

    目录

    TOC\h\z24525概论 3

    17053一、工艺说明 3

    31970(一)、技术管理特点 3

    24869(二)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目工艺技术设计方案 4

    2456(三)、设备选型方案 6

    9527二、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目绩效评估 7

    5476(一)、绩效评估指标 7

    13811(二)、绩效评估方法 8

    4724(三)、绩效评估周期 10

    19989三、金刚石膜-声表面波器件（

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