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本发明公开了一种用于立式炉的自动上下料控制方法及传输系统，控制方法包括以下步骤：S1、在人机交互系统中设置参数，定义片盒类型；S2、片盒进入片盒传输组件，扫描片盒中晶圆的数量；S3、片盒机械手取走片盒，根据预设的片盒类型进行传输；S4、在人机交互系统中定义舟架上所需晶圆的数量、类型和摆放位置；筛选满足预设条件的片盒，根据优先权调度规则进行传输；S5、根据筛选结果，片盒机械手将片盒传输至晶圆缓存架；S6、晶圆机械手将晶圆传输到舟架，并记录舟架上每一片晶圆的来源；S7、将舟架上的晶圆传送至工艺腔内进
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117373968A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311200652.5
(22)申请日2023.09.15
(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研
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